molbox RFM (Reference Flow Monitor, monitor de fluxo de referência)
Informações gerais sobre o produto: molbox RFM (Reference Flow Monitor, monitor de fluxo de referência)
- Apresentação compacta
- Cobre a faixa de fluxo de 1 sccm a 100 slm com molbloc-L, e até 5.000 slm com o molbloc-S
- Selecione entre 20 gases diferentes.
- Incerteza de medição certificada de ± 0,5% da leitura com até 100:1 de rangeabilidade
- Sistema de válvulas interno para purga integrada, teste de vazamento e suporte de tara.
- Inclui funções de medição avançadas, como totalizar, média, alto/baixo e desvio.
- Controle de painel dianteiro completo e comunicações remotas RS232 e IEEE-488
- Mede fluxo de massa e volume com condições de temperatura e pressão definidas pelo usuário.
Especificações: molbox RFM (Reference Flow Monitor, monitor de fluxo de referência)
ESPECIFICAÇÕES DE MEDIÇÃO DE FLUXO
O molbox RFM mede o fluxo através dos elementos de fluxo do molbloc. A faixa de fluxo, pressão de operação utilizável e pressão diferencial para molbloc-L ou a faixa de fluxo e faixa de pressão absoluta para o molbloc-S, dependendo do elemento molbloc usado e de suas opções de calibração. Consulte as planilhas das faixas do molbloc-L e molbloc-S para detalhes de calibração e faixa.
Para faixas de molbloc-L até 3E4, a resolução e a precisão abaixo de 10% FS são melhoradas pela opção de microfaixa. Para o molbloc 1E5-L, a opção de microfaixa é necessária para alcançar a especificação.
molbox RFM | ||
molbloc-L (faixas de 1E1-L até 3E4-L) | molbloc-S (todas as faixas) | |
Taxa de atualização de medição | 1 segundo | 1 segundo |
Faixa | para a escala total do molboc, dependendo da pressão do molbloc e do gás tipo de calibração dependente (consulte a folha da linha molbloc-L) | O fluxo relacionado a 20 kPa a 200 kPa absoluta (3 psia a 30 psia) ou 50 kPa a 500 kPa absoluta (7 psia a 70 psia) a montante (consulte a planilha da linha molbloc-S) |
Resolução | 0,01% FS | ± 0,01% de leitura |
Linearidade | ± 0,23% de leitura de 10% a 100% FS, ± 0,023% FS sob 10% FS | ± 0,25% de leitura |
Repetibilidade | ± 0,1% de leitura de 10% a 100% FS, ± 0,01% FS sob 10% FS | ± 0,1% de leitura |
Precisão1 | ± 0,25% de leitura de 10% a 100% FS, ± 0,025% FS sob 10% FS | ± 0,3% de leitura |
Estabilidade prevista2 (um ano) | ± 0,15% de leitura de 10% a 100% FS, ± 0,015% FS sob 10% FS | ± 0,2% de leitura |
Incerteza da medição3 | ± 0,5% de leitura de 10% a 100% FS, ± 0,05% FS sob 10% FS | ± 0,5% da leitura da 50 kPa a 500 kPa, ± 0,5% do fluxo a 50 kPa de 20 kPa a 50 kPa |
molbox RFM com opção de Microfaixa | ||
molbloc-L (faixas de 1E1-L até 3E4-L) | molbloc-L (apenas faixas 1E5) | |
Taxa de atualização de medição | 1 segundo | 1 segundo |
Faixa | 0 para escala total do molbloc dependendo da pressão do molbloc e do gás tipo de calibração dependente (consulte as tabelas molbloc-L) | 0 para escala total do molbloc dependendo da pressão do molbloc e do gás tipo de calibração dependente (consulte as tabelas molbloc-L) |
Resolução | 0,01% FS, 0,001% FS sob 10% FS | 0,01% FS |
Linearidade | ± 0,23% da leitura de 1% a 100% FS, ± 0,0023% FS sob 1% FS | ± 0,25% de leitura de 5% a 100% FS, ± 0,0125% FS sob 5% FS |
Repetibilidade | ± 0,1% de leitura de 1% a 100% FS, ± 0,001% FS sob 1% FS | ± 0,2% de leitura de 5% a 100% FS, ± 0,01% FS sob 5% FS |
Precisão1 | ± 0,25% de leitura de 1% a 100% FS, ± 0,0025% FS sob 1% FS | ± 0,32% de leitura de 5% a 100% FS, ± 0,016% FS sob 5% FS |
Estabilidade prevista2 (um ano) | ± 0,15% de leitura de 1% a 100% FS, ± 0,0015% FS sob 1% FS | ± 0,2% de leitura de 5% a 100% FS, ± 0,01% FS sob 5% FS |
Incerteza da medição3 | ± 0,5% de leitura de 1% a 100% FS, ± 0,005% FS sob 1% FS | ± 0,5% de leitura de 5% a 100% FS, ± 0,025% FS sob 5% FS |
molbloc-S (todas as faixas) As especificações são as mesmas que as do molbox FM sem Microfaixa. O transdutor de Microfaixa está desativado sempre que o molbox RFM está conectado a um molbloc-S.
1 Precisão: Linearidade, histerese e repetibilidade combinadas.
2 Estabilidade: Mudança máxima em zero e abrangência de um período de tempo especificado para molbox+ típico e molbloc usados sob condições típicas. Apenas uma estabilidade pode ser prevista, a estabilidade para um molbloc RFM deve ser estabelecida a partir da experiência.
3 Incerteza da medição: Desvio máximo da indicação de fluxo do molbox RFM do valor verdadeiro do fluxo através do molbloc, incluindo precisão, estabilidade e incerteza padrão de calibração DHI. Especificações de incerteza de medição para molblocs são válidas apenas para gases com os quais o molbloc foi calibrado. Todos os molblocs são calibrados para N2. Calibrações com outros gases são opcionais: O recurso de calibração DHI não é mantido todas as vezes para todos os gases em todas as designações do molbloc. Verifique a disponibilidade antes de fazer o pedido.
Modelos: molbox RFM (Reference Flow Monitor, monitor de fluxo de referência)
- monitor de fluxo de referência molbox RFM (5.141 kits) ou molbox RFM-M (5.142 e 5.144 kits) com conexão rápida a linhas de pressão molbloc, cabo de comunicação molbloc, cabo de linha e manual de usuário
- Elemento de fluxo laminar molbloc 5E1-L
- Sistema de montagem molstic-L com regulador de pressão fino e uma válvula de isolamento e válvula de medição de vazão precisas para cada molbloc-L
- Tubos e adaptadores para conectar o fornecimento de gás e dispositivo em teste, incluindo 1/4 em montagem de tubo, 1/4 em NPT fêmea, 1/4 em NPT macho, 1/8 em NPT macho e 1/4 em BSP macho
- monitor de fluxo de referência molbox RFM (5.141 kits) ou molbox RFM-M (5.142 e 5.144 kits) com conexão rápida a linhas de pressão molbloc, cabo de comunicação molbloc, cabo de linha e manual de usuário
- Elemento de fluxo laminar molbloc 5E2-L
- Sistema de montagem molstic-L com regulador de pressão fino e uma válvula de isolamento e válvula de medição de vazão precisas para cada molbloc-L
- Tubos e adaptadores para conectar o fornecimento de gás e dispositivo em teste, incluindo 1/4 em montagem de tubo, 1/4 em NPT fêmea, 1/4 em NPT macho, 1/8 em NPT macho e 1/4 em BSP macho
- monitor de fluxo de referência molbox RFM (5.141 kits) ou molbox RFM-M (5.142 e 5.144 kits) com conexão rápida a linhas de pressão molbloc, cabo de comunicação molbloc, cabo de linha e manual de usuário
- Elemento de fluxo laminar molbloc 5E3-L
- Sistema de montagem molstic-L com regulador de pressão fino e uma válvula de isolamento e válvula de medição de vazão precisas para cada molbloc-L
- Tubos e adaptadores para conectar o fornecimento de gás e dispositivo em teste, incluindo 1/4 em montagem de tubo, 1/4 em NPT fêmea, 1/4 em NPT macho, 1/8 em NPT macho e 1/4 em BSP macho
- monitor de fluxo de referência molbox RFM (5.141 kits) ou molbox RFM-M (5.142 e 5.144 kits) com conexão rápida a linhas de pressão molbloc, cabo de comunicação molbloc, cabo de linha e manual de usuário
- Elemento de fluxo laminar molbloc 3E4-L
- Sistema de montagem molstic-L com regulador de pressão fino e uma válvula de isolamento e válvula de medição de vazão precisas para cada molbloc-L
- Tubos e adaptadores para conectar o fornecimento de gás e dispositivo em teste, incluindo 1/4 em montagem de tubo, 1/4 em NPT fêmea, 1/4 em NPT macho, 1/8 em NPT macho e 1/4 em BSP macho
- monitor de fluxo de referência molbox RFM (5.141 kits) ou molbox RFM-M (5.142 e 5.144 kits) com conexão rápida a linhas de pressão molbloc, cabo de comunicação molbloc, cabo de linha e manual de usuário
- Elemento de fluxo laminar molbloc 5E2-L
- Sistema de montagem molstic-L com regulador de pressão fino e uma válvula de isolamento e válvula de medição de vazão precisas para cada molbloc-L
- Tubos e adaptadores para conectar o fornecimento de gás e dispositivo em teste, incluindo 1/4 em montagem de tubo, 1/4 em NPT fêmea, 1/4 em NPT macho, 1/8 em NPT macho e 1/4 em BSP macho
- monitor de fluxo de referência molbox RFM (5.141 kits) ou molbox RFM-M (5.142 e 5.144 kits) com conexão rápida a linhas de pressão molbloc, cabo de comunicação molbloc, cabo de linha e manual de usuário
- Elemento de fluxo laminar molbloc 5E3-L
- Sistema de montagem molstic-L com regulador de pressão fino e uma válvula de isolamento e válvula de medição de vazão precisas para cada molbloc-L
- Tubos e adaptadores para conectar o fornecimento de gás e dispositivo em teste, incluindo 1/4 em montagem de tubo, 1/4 em NPT fêmea, 1/4 em NPT macho, 1/8 em NPT macho e 1/4 em BSP macho
- monitor de fluxo de referência molbox RFM (5.141 kits) ou molbox RFM-M (5.142 e 5.144 kits) com conexão rápida a linhas de pressão molbloc, cabo de comunicação molbloc, cabo de linha e manual de usuário
- Elemento de fluxo laminar molbloc 3E4-L
- Sistema de montagem molstic-L com regulador de pressão fino e uma válvula de isolamento e válvula de medição de vazão precisas para cada molbloc-L
- Tubos e adaptadores para conectar o fornecimento de gás e dispositivo em teste, incluindo 1/4 em montagem de tubo, 1/4 em NPT fêmea, 1/4 em NPT macho, 1/8 em NPT macho e 1/4 em BSP macho
- monitor de fluxo de referência molbox RFM (5.141 kits) ou molbox RFM-M (5.142 e 5.144 kits) com conexão rápida a linhas de pressão molbloc, cabo de comunicação molbloc, cabo de linha e manual de usuário
- Elementos de fluxo laminar molbloc 5E2-L e 3E4-L
- Sistema de montagem molstic-L com regulador de pressão fino e uma válvula de isolamento e válvula de medição de vazão precisas para cada molbloc-L
- Tubos e adaptadores para conectar o fornecimento de gás e dispositivo em teste, incluindo 1/4 em montagem de tubo, 1/4 em NPT fêmea, 1/4 em NPT macho, 1/8 em NPT macho e 1/4 em BSP macho