제품 개요: molbox RFM 기준 유량 모니터
- 작은 크기
- Molbloc-L로 1sccm~1slm의 유량 범위를 지원하며 molbloc-S로 최대 5000slm의 유량을 지원합니다.
- 20개의 가스 중에서 선택
- 100:1 rangeability로 측정값의 ± 0.5%의 인증 측정 불확도 지원
- 온-보드 퍼징, 누수 테스트와 tare 지원을 위한 내부 밸브 지원
- 합계, 평균, hi/lo 및 편차와 같은 고급 측정 기능 포함
- 완전한 전면 패널 제어 및 RS232/ IEEE-488 원격 통신
- 질량 및 용적 유량을 사용자 정의 기준 압력과 온도 조건에서 측정
제품 사양: molbox RFM 기준 유량 모니터
유량 측정 사양
Molbox RFM은 molbloc 유량 요소를 통과하는 유량을 측정합니다. 유량 범위, 가용 운전 압력, molbloc-L의 차압, molbloc-S의 유량 범위와 절대 압력 범위 등은 사용되는 molbloc 요소와 교정 옵션의 영향을 받습니다. 교정 및 범위 정보는 molbloc-L과 molbloc-S 범위 시트를 참고하십시오
. 3E4까지의 Molbloc-L의 경우, 마이크로레인지 옵션을 이용하면 FS 10% 이하 분해능와 정확도가 개선됩니다. 1E5-L molbloc의 경우, 사양을 준수하기 위해 마이크로레인지 옵션이 필요합니다.
molbox RFM Reference Flow Monitors | ||
molbloc-L (1E1-L ~ 3E4-L) | 모든 범위 | |
측정 갱신 율 | 1초 | 1초 |
범위 | 가스와 molbloc 압력에 따라 molbloc 전체 스케일 까지 교정 종류 의존 (molbloc-L 범위 표 참고) | 20kPa~200kPa 절대 (3 psia~30psia) 혹은 50kPa ~ 500kPa 절대 (7psia ~ 70psia) 상류 (molbloc-S 범위 표 참고) |
분해능 | 0.01 % FS | 측정값의 ± 0.01 % |
선형도 | 10 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.23% 10 % FS 이하 ± 0.023 % FS | 측정값의 ± 0.25 % |
반복성 | 10 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.1% 10 % FS 이하 ± 0.01 % FS | 측정값의 ± 0.1 % |
정밀도1 | 10 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.25% 10 % FS 이하 ± 0.025 % FS | 측정값의 ± 0.3 % |
예측 안정도2 1년 | 10 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.15% 10 % FS 이하 ± 0.015 % FS | 측정값의 ± 0.2 % |
측정 불확도3 | 10 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.5% 10 % FS 이하 ± 0.05 % FS | 50kPa~500kPa에서 측정값의 ± 0.5% ±유량의 0.5% 20 kPa ~ 50 kPa 사이에서 50 kPa |
molbox RFM with 마이크로레인지 option | ||
molbloc-L (1E1-L ~ 3E4-L) | molbloc-L (1E5 전용) | |
측정 갱신 율 | 1초 | 1초 |
범위 | 가스와 molbloc 압력에 따라 molbloc 전체 스케일 까지 교정 종류 의존 (molbloc-L 표 참고) | 가스와 molbloc 압력에 따라 molbloc 전체 스케일 까지 교정 종류 의존 (molbloc-L 표 참고) |
분해능 | 0.001 % FS 이하 ± 0.01 % FS 10 % FS | 0.01 % FS |
선형도 | FS 1%~100% 까지 측정값의 ± 0.23%, FS 1% 이하에서 FS ± 0.0023% | 5 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.25% 5 % FS 이하 ± 0.0125 % FS |
반복성 | 1 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.1% 1 % FS 이하 ± 0.001 % FS | 5 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.2% 5 % FS 이하 ± 0.01 % FS |
정밀1 | 1 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.25% 1 % FS 이하 ± 0.0025 % FS | 5 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.32% 5 % FS 이하 ± 0.016 % FS |
예측 안정도2 1년 | 1 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.15% 1 % FS 이하 ± 0.0015 % FS | 5 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.2% 5 % FS 이하 ± 0.01 % FS |
측정 불확도3 | 1 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.5% 1 % FS 이하 ± 0.005 % FS | 5 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.5% 5 % FS 이하 ± 0.025 % FS |
모든 범위
Microrange 없는 molbox RFM과 동일 사양 Microrange 트랜스듀서는 molbox RFM이 molbloc-S에 연결될 때 중지됩니다.
1정밀도: 총 선형도, 이력도, 재현성
2 예측 안정도: 일반적인 molblox RFM과 molbloc의 통상적인 운전 환경에서의 영점과 스팬의 지정 시간 기간 사이의 최대 변화 안정도는 예측만할 수 있으며, 특정 molblox RFM의 안정도는 경험을 통해 정립되어야 합니다.
3 측정 불확도 : DHI 교정 표준 불확도, 정밀도, 안정도를 고려한 molblox1 RFM 유량 지시값의 참값으로부터의 최대 변이. Molbloc의 측정 불확도 사양은 molbloc의 교정이 이루어진 가스에 대해서만 유효합니다. 모든 molbloc은 N2로 교정되었습니다. 다른 가스에 대한 교정은 선택사양입니다. DHI 교정 기능은 모든 가스에 대해 모든 molbloc 지정에서 상시 유지되지는 않습니다. 주문 전에 사용 가능한 지 문의하십시오
모델: molbox RFM 기준 유량 모니터
사용자 설명서, 교정인증서, 전원선, (2)molbox RFM 대 molbloc 압력선, (1)molbox RFM 대 molbloc 데이터선, (2)직선압력 신속 연결형 커넥터
- molbox RFM(5141 키트) 또는 molbox RFM-M(5142 및 5144 키트) 기준 유량 모니터 - 빠른 연결 molbloc 압력 라인, molbloc 통신 케이블, 전선 및 사용 설명서 포함
- molbloc 5E1-L 층류 요소
- molstic-L 장착 시스템 - 각 molbloc-L용 미세 압력 레귤레이터와 분리 밸브 및 정밀한 유량 조절 밸브 포함
- 가스 공급기와 테스트 대상 장치를 연결하는 튜브 및 어댑터 - 1/4인치 튜브 이음쇠, 1/4인치 NPT 암, 1/4인치 NPT 수, 1/8인치 NPT 수 및 1/4인치 BSP 수 포함
- molbox RFM(5141 키트) 또는 molbox RFM-M(5142 및 5144 키트) 기준 유량 모니터 - 빠른 연결 molbloc 압력 라인, molbloc 통신 케이블, 전선 및 사용 설명서 포함
- molbloc 5E2-L 층류 요소
- molstic-L 장착 시스템 - 각 molbloc-L용 미세 압력 레귤레이터와 분리 밸브 및 정밀한 유량 조절 밸브 포함
- 가스 공급기와 테스트 대상 장치를 연결하는 튜브 및 어댑터 - 1/4인치 튜브 이음쇠, 1/4인치 NPT 암, 1/4인치 NPT 수, 1/8인치 NPT 수 및 1/4인치 BSP 수 포함
- molbox RFM(5141 키트) 또는 molbox RFM-M(5142 및 5144 키트) 기준 유량 모니터 - 빠른 연결 molbloc 압력 라인, molbloc 통신 케이블, 전선 및 사용 설명서 포함
- molbloc 5E3-L 층류 요소
- molstic-L 장착 시스템 - 각 molbloc-L용 미세 압력 레귤레이터와 분리 밸브 및 정밀한 유량 조절 밸브 포함
- 가스 공급기와 테스트 대상 장치를 연결하는 튜브 및 어댑터 - 1/4인치 튜브 이음쇠, 1/4인치 NPT 암, 1/4인치 NPT 수, 1/8인치 NPT 수 및 1/4인치 BSP 수 포함
- molbox RFM(5141 키트) 또는 molbox RFM-M(5142 및 5144 키트) 기준 유량 모니터 - 빠른 연결 molbloc 압력 라인, molbloc 통신 케이블, 전선 및 사용 설명서 포함
- molbloc 3E4-L 층류 요소
- molstic-L 장착 시스템 - 각 molbloc-L용 미세 압력 레귤레이터와 분리 밸브 및 정밀한 유량 조절 밸브 포함
- 가스 공급기와 테스트 대상 장치를 연결하는 튜브 및 어댑터 - 1/4인치 튜브 이음쇠, 1/4인치 NPT 암, 1/4인치 NPT 수, 1/8인치 NPT 수 및 1/4인치 BSP 수 포함
- molbox RFM(5141 키트) 또는 molbox RFM-M(5142 및 5144 키트) 기준 유량 모니터 - 빠른 연결 molbloc 압력 라인, molbloc 통신 케이블, 전선 및 사용 설명서 포함
- molbloc 5E2-L 층류 요소
- molstic-L 장착 시스템 - 각 molbloc-L용 미세 압력 레귤레이터와 분리 밸브 및 정밀한 유량 조절 밸브 포함
- 가스 공급기와 테스트 대상 장치를 연결하는 튜브 및 어댑터 - 1/4인치 튜브 이음쇠, 1/4인치 NPT 암, 1/4인치 NPT 수, 1/8인치 NPT 수 및 1/4인치 BSP 수 포함
- molbox RFM(5141 키트) 또는 molbox RFM-M(5142 및 5144 키트) 기준 유량 모니터 - 빠른 연결 molbloc 압력 라인, molbloc 통신 케이블, 전선 및 사용 설명서 포함
- molbloc 5E3-L 층류 요소
- molstic-L 장착 시스템 - 각 molbloc-L용 미세 압력 레귤레이터와 분리 밸브 및 정밀한 유량 조절 밸브 포함
- 가스 공급기와 테스트 대상 장치를 연결하는 튜브 및 어댑터 - 1/4인치 튜브 이음쇠, 1/4인치 NPT 암, 1/4인치 NPT 수, 1/8인치 NPT 수 및 1/4인치 BSP 수 포함
- molbox RFM(5141 키트) 또는 molbox RFM-M(5142 및 5144 키트) 기준 유량 모니터 - 빠른 연결 molbloc 압력 라인, molbloc 통신 케이블, 전선 및 사용 설명서 포함
- molbloc 3E4-L 층류 요소
- molstic-L 장착 시스템 - 각 molbloc-L용 미세 압력 레귤레이터와 분리 밸브 및 정밀한 유량 조절 밸브 포함
- 가스 공급기와 테스트 대상 장치를 연결하는 튜브 및 어댑터 - 1/4인치 튜브 이음쇠, 1/4인치 NPT 암, 1/4인치 NPT 수, 1/8인치 NPT 수 및 1/4인치 BSP 수 포함
- molbox RFM(5141 키트) 또는 molbox RFM-M(5142 및 5144 키트) 기준 유량 모니터 - 빠른 연결 molbloc 압력 라인, molbloc 통신 케이블, 전선 및 사용 설명서 포함
- molbloc 5E2-L 및 3E4-L 층류 요소
- molstic-L 장착 시스템 - 각 molbloc-L용 미세 압력 레귤레이터와 분리 밸브 및 정밀한 유량 조절 밸브 포함
- 가스 공급기와 테스트 대상 장치를 연결하는 튜브 및 어댑터 - 1/4인치 튜브 이음쇠, 1/4인치 NPT 암, 1/4인치 NPT 수, 1/8인치 NPT 수 및 1/4인치 BSP 수 포함